반도체 공정 및 특수 환경에서 배출되는 유기, 산, 알칼리 가스는 흡착제를 이용하여 처리가 가능합니다.
물리 또는 화학 흡착 방식으로 부산물 없이 유해가스를 제거할 수 있습니다.
공정이 간단하기 때문에 공간이 확보된 경우 설비 설치가 용이합니다.
SARB - THC
유기 가스 처리 |
SARB - A00
산 가스 처리 |
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SAA - 20 (SARB - SERISE)
유기 가스 및 알칼리 가스 처리 |
SAR - 00 (SARB - ACID)
산 가스 처리 |
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SKR - 10
황 가스 처리 |
SKRB - 00
산 가스 처리 |
SKR - 00
할로겐 가스 처리 |
SKR - 30
특수 가스 처리 |
SKR - 50
알칼리 가스 처리 |